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產(chǎn)品名稱：大型12英寸高精度勻膠機
產(chǎn)品型號：TN-SPC12-HP
產(chǎn)品廠商：泰諾
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

大型12英寸高精度勻膠機采用大功率伺服電機，配合高精度驅動器轉速分辨率可達0.2rpm，大型12英寸高精度勻膠機可實現(xiàn)對大尺寸樣品勻膠實驗，*大能支持直徑300mm厚度2.3mm的樣品。

詳情介紹：

TN-SPC12-HP 大型12英寸高精度勻膠機 采用大功率伺服電機，配合高精度驅動器，可實現(xiàn)對大尺寸樣品勻膠實驗。*大能支持直徑300mm厚度2.3mm的樣品。本設備采用高精度驅動器，轉速分辨率可達0.2rpm。勻膠腔體采用不銹鋼材質，美觀大方，方便清潔。并且腔體帶有閉鎖裝置，在裝入樣品后能夠閉鎖腔體，防止發(fā)生意外時樣品飛出，能夠有效保護使用者。腔體內(nèi)置排膠口，便于收集廢液。

高精度勻膠機技術參數(shù)：

名稱	大型12英寸高精度勻膠機
型號	TN-SPC12-HP
特點	工業(yè)級大功率伺服電機轉速可達3000RPM 高精度驅動器轉速分辨率可達0.2rpm *大能支持直徑300mm厚度2.3mm的樣品腔體帶有閉鎖裝置，防止發(fā)生意外時樣品飛出腔體內(nèi)置排膠口，便于收集廢液
技術參數(shù)	勻膠腔體不銹鋼材質， *大支持直徑300mm厚度2.3mm的晶圓內(nèi)置排膠口轉速 ≤3000rpm 轉速分辨率 0.2rpm 控制方式 15英寸全高清觸控屏，可使用USB接口升級程序供電 AC220V 50Hz 2kW 真空泵無油真空泵，抽速120L/min 真空接口 KF16