供電電源

AC220V 50Hz (歐標(biāo))

射頻電源

信號(hào)頻率

13.56MHz

功率輸出范圍

0~500W

*大反射功率

100W

反射功率 (在*大功率時(shí))

<5W

功率穩(wěn)定性

±0.1%

工作腔體

加熱溫度

RT-1000℃

溫控精度

±1℃

樣品臺(tái)尺寸

Φ200mm

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

1-20rpm 可調(diào)

噴頭尺寸

Φ90mm

距離

噴頭與樣品之間的距離40-100mm連續(xù)可調(diào)

沉積工作真空

0. 133- 133Pa （可根據(jù)工藝調(diào)整）

法蘭

上法蘭可由電機(jī)升降，基材易更換，并有可視窗口

腔體

不銹鋼材質(zhì), Φ500mm * 500mm

觀察窗

Φ100mm, 帶擋板

供氣系統(tǒng)

通道數(shù)

6

測(cè)量單位

質(zhì)量流量計(jì)

測(cè)量范圍

A 通道: 0～200SCCM for H₂  

B 通道: 0～200SCCM for CH₄

C 通道: 0～200SCCM for C₂H₄

D通道: 0～500SCCM for N₂

E通道: 0～500SCCM for NH₃

F通道: 0～500SCCM for Ar

測(cè)量精度

±1.5%F.S

工作壓差

-0.15Mpa~0.15Mpa

連接管材質(zhì)

304 不銹鋼

氣路

304 不銹鋼針閥

進(jìn)氣和出氣接口規(guī)格

1/4" 卡套接頭

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵抽速

4.7L/s

分子泵抽速

1200L/s

真空測(cè)量

復(fù)合真空計(jì), 范圍10^-5Pa ~ 10⁵Pa

真空度

5.0*10^-3Pa

水冷機(jī)

冷卻水溫度

≦37℃

水流速

10L/min

功率

0.1KW

冷卻功率

50W/℃

空壓機(jī)

OTS-550