3.不銹鋼雙卡快速接頭，連接方便，無泄漏

○ 技術參數

功能	三路質量流量計
質子流量控制器	工作溫度：5~45 oC 較大壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM  三路: 1~499 SCCM  注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用
輸入電源	AC 220V/50Hz單相
功率	150W
機械壓力表	有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	內部連接管道為1/4”不銹鋼管  外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	316不銹鋼針閥  Φ1/4” 不銹鋼管
外形尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
質量認證	CE認證
質保期	一年質保期，終身維護

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